SUBSTRATE CONTAINER SYSTEM

• Main Authors: CHIU MING CHIEN, HSIA HAO KANG, LEE KUO HUA, CHUANG CHIA HO, LIN SHU HUNG
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 09.01.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A substrate container system includes a container body, a filter assembly, and a rear-surface cover. The container body includes an upper end surface, a bottom surface facing the upper end surface, and a back plate connecting the upper end surface and the bottom surface. The container body has a front-surface opening and a rear-surface opening. The front-surface opening is located between the upper end surface and the bottom surface to allow the substrate to pass through. The rear-surface opening is located on the back plate to face the front-surface opening. The back plate has a first height, and the rear-surface opening has a second height smaller than the first height. The filter assembly is covered onto the rear-surface opening. The rear-surface cover is used to be connected to the container body in an airtight manner. A gas guidance passage extending in a first height direction is formed between the rear-surface cover and the container body. The rear-surface cover and the filter assembly define a buffer room in common. The gas guidance passage has an exit connected to the buffer room. 기판 용기 시스템은 용기 본체, 필터 조립체 및 후면 커버를 포함하며, 용기 본체는 상단면, 상단면과 상대하는 저면 및 상단면과 저면을 연결하는 백플레이트를 포함하고, 용기 본체는 전면 개구 및 후면 개구를 가지며, 전면 개구는 기판이 통과할 수 있도록 상단면과 저면 사이에 위치하고, 후면 개구는 백플레이트에 위치하여 전면 개구에 상대하며, 여기서, 백플레이트는 제1 높이를 갖고, 후면 개구는 제1 높이보다 작은 제2 높이를 갖는다. 필터 조립체는 후면 개구에 덮어진다. 후면 커버는 용기 본체와 밀폐 연결되는 데 사용되고, 후면 커버와 용기 본체 사이에는 제1 높이 방향을 따라 확장되는 가스 가이드 통로가 형성되며, 후면 커버와 필터 조립체는 공동으로 완충실을 정의하고, 가스 가이드 통로는 완충실에 연결되는 출구를 갖는다.