VALVE STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR VACUUM

• Main Authors: KIM MYUN SIK, PARK KUN JOO, HWANG EUI SIK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 09.01.2023
• Subjects: ACTUATING-FLOATS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BLASTING; COCKS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TAPS; THERMAL INSULATION IN GENERAL; VALVES; WEAPONS

The present invention provides a valve structure for semiconductor vacuum including a clamping member capable of facilitating replacement work and being strongly coupled. According to an embodiment of the present invention, the valve structure for semiconductor vacuum includes: a first valve plate for closing a first valve opening; a second valve plate for closing a second valve opening; a support plate arranged between the first valve plate and the second valve plate, wherein the first valve plate and the second valve plate are mounted on the support plate and detachable connected to the support plate; a clamping member fixing the first valve plate and the second valve plate to the support plate in the upper part of the support plate; a screw fixing the first valve plate and the second valve plate to the support plate by being interlocked with the clamping member, and coupled to the support plate; a pillar-shaped middle member having an outer surface inclined at a first angle in a screw extension direction, wherein the head of the screw is inserted into the middle member; a first guide unit guiding the position of the first valve plate and the second valve plate in the lower part of the support plate; and a second guide unit guiding the first valve plate and the second valve plate by being interlocked with the first guide unit in the lower part of the first valve plate and the second valve plate. 본 발명은 일실시예에서, 제 1 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트; 제 2 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트; 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트 상부에서 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키는 클램핑 부재; 상기 클램핑 부재와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키며 상기 지지 플레이트에 체결되는 나사; 상기 나사의 헤드가 내부에 삽입되며, 외면이 나사 연장 방향에 대하여 제 1 각도로 기울어진 기둥 형상의 중간 부재; 상기 지지 플레이트 하부에서 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트의 위치를 안내하는 제 1 가이드부; 및 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 하부에서 상기 제 1 가이드부와 협력하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 안내하는 제 2 가이드부;를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조를 제공한다.