음향 계측을 이용한 패턴화된 구조체의 특성화

• Main Authors: KOTELYANSKII MICHAEL, MAIR ROBIN, MEHENDALE MANJUSHA, MUKUNDHAN PRIYA
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 05.01.2023
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

샘플의 패턴화된 특징부 또는 구조체를 특성화함으로써, 샘플을 검사하거나 특성화하기 위한 시스템 및 방법. 일 양태에서, 본 기술은 샘플의 패턴화된 구조체를 특성화하기 위한 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 펌프 빔을 샘플의 표면 상의 제1 위치로 지향시켜 샘플에 표면 음향파를 유도하는 단계 및 프로브 빔을 샘플 상의 제2 위치로 지향시키는 단계를 포함하며, 여기서 프로브 빔은 프로브 빔이 샘플의 표면으로부터 반사될 때 표면 음향파에 의해 영향을 받는다. 상기 방법은 또한, 반사된 프로브 빔을 검출하는 단계, 검출된 반사된 프로브 빔을 분석하여 반사된 프로브 빔에서 주파수 모드를 식별하는 단계, 및 식별된 주파수 모드에 기초하여, 샘플에서 패턴화된 특징부의 폭 또는 피치 중 적어도 하나를 결정하는 단계를 포함한다. Systems and methods for inspecting or characterizing samples, such as by characterizing patterned features or structures of the sample. In an aspect, the technology relates to a method for characterizing a patterned structure of a sample. The method includes directing a pump beam to a first position on a surface of the sample to induce a surface acoustic wave in the sample and directing a probe beam to a second position on the sample, where the probe beam is affected by the surface acoustic wave when the probe beam reflects from the surface of the sample. The method also includes detecting the reflected probe beam, analyzing the detected reflected probe beam to identify a frequency mode in the reflected probe beam, and based on the identified frequency mode, determining at least one of a width or a pitch of a patterned feature in the sample.