PRODUCTION DEVICE FOR MASK DEVICE RECORDING MEDIUM PRODUCTION METHOD FOR MASK DEVICE AND MASK DEVICE

• Main Author: OKAMOTO HIDEYUKI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.12.2022
• Subjects: ELECTRICITY

A mask apparatus may include: a frame including first and second sides opposing each other in a first direction across an opening, and third and fourth sides opposing each other in a second direction crossing the first direction across the opening; and a mask including an end fixed to the first and second sides. A manufacturing apparatus may include: a pressing mechanism which presses the first and second sides toward the opening; a displacement measuring mechanism which measures amounts of deformation of the first and second sides in the first direction; and a fixing unit which fixes a mask to the first and second sides. The pressing mechanism may include: five or more pressing units which are arranged at intervals of 500 mm or less in the second direction and press the first side; and five or more pressing units which are arranged at intervals of 500 mm or less in the second direction and press the second side. The present invention can appropriately adjust amounts of deformation of the first and second sides of the frame. 마스크 장치는, 개구를 사이에 두고 제1 방향에 있어서 대향하는 제1변 및 제2변과, 개구를 사이에 두고 제1 방향에 교차하는 제2 방향에 있어서 대향하는 제3변 및 제4변을 포함하는 프레임과, 제1변 및 제2변에 고정된 단부를 포함하는 마스크를 구비해도 된다. 제조 장치는, 개구를 향하는 방향에 있어서 제1변 및 제2변을 압박하는 압박 기구와, 제1 방향에서의 제1변 및 제2변의 변형량을 측정하는 변위 측정 기구와, 마스크를 제1변 및 제2변에 고정하는 고정 장치를 구비해도 된다. 압박 기구는, 제2 방향을 따라 500mm 이하의 간격을 두고 배열되어, 제1변을 압박하는 5개 이상의 압박 장치와, 제2 방향을 따라 500mm 이하의 간격을 두고 배열되어, 제2변을 압박하는 5개 이상의 압박 장치를 포함해도 된다.