Apparatus and method for inspection of transparent thin material

• Main Authors: PARK KUN JOO, YEON SEUNG HO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.12.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; TESTING

Disclosed are an apparatus and a method for inspecting the surfaces of a transparent thin film, which can quickly and accurately identify defects such as chippings, scales and the like generated on the upper and lower surfaces of a transparent film by using a differential interferometer and upper and lower lights. The apparatus for inspecting the surfaces of a transparent thin film according to embodiments of the present invention comprises: a differential interferometer for analyzing images about the surfaces of a transparent thin film; and a lighting device for providing lights to the surfaces of the transparent thin film. The lighting device comprises: an upper lighting device configured to provide upper light to the upper surface of the transparent thin film from the upper side of the transparent thin film; and a lower lighting device configured to provide lower light to the lower surface of the transparent thin film from the lower side of the transparent thin film. 미분 간섭계와 상/하부 조명을 통해 투명 박막의 상/하부 표면에 발생된 칩핑, 스케일 등의 결함을 빠르고 정확하게 판별할 수 있는 투명 박막 표면 검사 장치 및 방법이 개시된다. 본 발명의 실시예에 따른 투명 박막 표면 검사 장치는 투명 박막의 표면에 대한 영상을 분석하기 위한 미분 간섭계; 및 상기 투명 박막의 표면에 조명광을 제공하기 위한 조명 장치;를 포함한다. 상기 조명 장치는: 상기 투명 박막의 상부에서 상기 투명 박막의 상면을 향하여 상부 조명광을 제공하도록 구성되는 상부 조명 장치; 및 상기 투명 박막의 하부에서 상기 투명 박막의 하면을 향하여 하부 조명광을 제공하도록 구성되는 하부 조명 장치;를 포함한다.