IMPRINT APPARATUS IMPRINT METHOD AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD

• Main Author: KAMEI KENGO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 29.11.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

An imprint device executes, for shot areas of a substrate, imprint processing of transferring a pattern of a mold to an imprint material arranged on the substrate. The imprint device comprises: a detector that detects first marks provided on the substrate and second marks provided on the mold; and a control unit that controls the positioning of the detector based on a drive amount stored in a storage unit by which the detector should be driven to bring the first marks and the second marks within a specific area of the visual field of the detector, and a correction value stored in the storage unit for correcting the drive amount. The control unit performs alignment between a shot area selected from the plurality of shot areas and the mold based on an output from the detector and updates the correction value held in the storage unit based on the output from the detector. Provided is a technique advantageous in improving the accuracy of positioning between a shot area of a substrate and a mold. 임프린트 장치는 기판 상에 배치된 임프린트재에 몰드의 패턴을 전사하는 임프린트 처리를 기판의 샷 영역에 대해 행한다. 장치는, 기판의 제1 마크 및 몰드의 제2 마크를 검출하는 검출기, 및 제1 마크 및 제2 마크를 검출기의 시야의 특정 영역 내에 맞추기 위해서 검출기를 구동해야 할, 기억부에 보유된 구동량과, 기억부에 보유되고 구동량을 보정하기 위해 사용되는 보정값에 기초하여 검출기의 위치결정을 제어하도록 구성되는 제어부를 포함한다. 제어부는, 검출기의 출력에 기초하여 샷 영역으로부터 선택된 샷 영역과 몰드 사이의 얼라인먼트를 행하며, 검출기의 출력에 기초하여 기억부에 보유된 보정값을 갱신한다.