다이의 활성 표면 위의 유체 유동 채널

• Main Authors: EMADI ARVIN, AGAH ALI, BOZORG GRAYELI TARA, RIVAL ARNAUD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 31.10.2022
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; TRANSPORTING

본 명세서에서 제공되는 것은 장치, 센서 시스템의 다양한 예, 및 장치, 센서 시스템의 태양을 제조하기 위한 방법의 예를 포함한다. 본 방법은 다이를 획득하는 단계를 포함할 수 있다. 하나 이상의 전기 접점이 다이의 표면 상에서 액세스가능하다. 본 방법은, 또한, 공동 내에서 다이의 하부 표면과 기판 사이에 언더필 층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 본 방법은 공동 내의 제1 공간 및 제2 공간 내에 경화성 재료를 침착시킴으로써 유체 팬 아웃 영역을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 본 방법은, 또한, 다이의 활성 표면 위에 유체 유동 채널을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. Provided herein include various examples of an apparatus, a sensor system and examples of a method for manufacturing aspects of an apparatus, a sensor system. The apparatus may include a die. The apparatus may also include a substrate comprising a cavity. The die may be oriented in a portion of the cavity in the substrate, where the orientation defines a first space in the cavity adjacent to a first edge of the upper surface of the die and a second space in the cavity adjacent to the second edge of the upper surface of the die. The apparatus may further include fluidics fan-out regions comprising a first cured material deposited in the first space and the second space, a surface of the fluidics fan-out regions being contiguous with the upper surface of the die.