CELL-TO-CELL COMPARISON METHOD

• Main Authors: EHUD GABAI, PARK TAE HOON, ELLA MENDELSON, EYAL SHAMUR, RAM SEGAL, JEONG JUNHEE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.10.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING RECORD CARRIERS; PHYSICS; PRESENTATION OF DATA; RECOGNITION OF DATA; RECORD CARRIERS; SEMICONDUCTOR DEVICES

According to an embodiment of the present invention, a cell-to-cell comparison method, which is to inspect a defect on a to-be-inspected object, in which unit cells that can be expressed as a two-dimensional vector are periodically arranged, comprises the steps of: acquiring an image of a to-be-inspected object including an array of unit cells; generating a tile which is a set of pixels corresponding to the same location of the unit cells in the array in the image; determining a gray level of each of the pixels in the tile; and determining whether the pixels in the tile are defective based on the determined gray level of each of the pixels. Therefore, the reliability of defect inspection of the to-be-inspected object can be improved. 본 발명의 일 실시 예에 따른 셀-대-셀 비교 방법은, 2차원 벡터로 표현할 수 있는 단위 셀이 주기적으로 배열되는 피검사체에 대한 결함을 검사하기 위한 셀-대-셀 비교 방법에 있어서, 상기 단위 셀의 어레이를 포함하는 상기 피검사체에 대한 이미지를 획득하는 단계; 상기 이미지에서 상기 어레이 내의 복수의 단위 셀의 동일한 위치에 해당하는 픽셀들의 집합인 타일을 생성하는 단계; 상기 타일 내의 복수의 픽셀들 각각의 그레이 레벨을 결정하는 단계; 및 상기 결정된 복수의 픽셀들 각각의 그레이 레벨을 기반하여 상기 타일 내의 복수의 픽셀들의 결함 여부를 판정하는 단계를 포함한다.