미세 기계식 회전비 센서 배열체, 회전비 센서 어레이 및 상응하는 제조 방법

• Main Authors: PRUETZ ODD AXEL, KUHLMANN NILS FELIX, LASSL ANDREAS, KUEHNEL MATTHIAS, NEUL REINHARD, DEGENFELD SCHONBURG PETER, BODE NIELS, KUHLMANN BURKHARD, LIEWALD JAN TIMO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.10.2022
• Subjects: GYROSCOPIC INSTRUMENTS; MEASURING; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; NAVIGATION; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY; PHYSICS; SURVEYING; TESTING

본 발명은 미세 기계식 회전비 센서 배열체, 회전비 센서 어레이 및 상응하는 제조 방법에 관한 것이다. 이러한 미세 기계식 회전비 센서 배열체는, 제2 축(y)을 중심으로 하는 제1 외부 회전비 및 제3 축(x)을 중심으로 하는 제2 외부 회전비를 검출하기 위한, 제1 축(z)을 중심으로 회전하며 진동하도록 구동 장치(AT1, AT2)를 통해 구동 프레임 장치(RA1a, RA1b, RA2a, RA2b)를 거쳐 구동 가능한 제1 회전비 센서 장치(100)이며, 제1 축, 제2 축 및 제3 축(z, y, x)은 서로 수직으로 배열되는, 제1 회전비 센서 장치와; 제1 축(z)을 중심으로 하는 제3 외부 회전비를 검출하기 위한, 제2 축(y)을 따라 선형으로 진동하도록 구동 장치(AT1, AT2)를 통해 구동 프레임 장치(RA1a, RA1b, RA2a, RA2b)를 거쳐 구동 가능한 제2 회전비 센서 장치(200);를 포함한다. 제1 회전비 센서 장치(100)는 구동 프레임 장치(RA1a, RA1b, RA2a, RA2b)를 통해 제2 회전비 센서 장치(200)와 연결된다. 구동 프레임 장치(RA1a, RA1b, RA2a, RA2b)는 제1 구동 프레임(RA1a, RA1b) 및 제2 구동 프레임(RA2a, RA2b)을 포함하며, 이러한 구동 프레임들은 구동 장치(AT1, AT2)를 통해 역위상으로 제3 축(x)을 따라 진동하도록 구동 가능하다. 로커들은 제1 및 제2 회전자 장치들과 제1 및 제2 구동 프레임들을 연결한다. A micromechanical rate-of-rotation sensor set-up, including a first rate-of-rotation sensor device capable of being driven rotationally by a driving device via a drive frame device, so as to oscillate about a first axis, and is for measuring a first outer rate of rotation about a second axis and a second outer rate of rotation about a third axis; and a second rate-of-rotation sensor device capable of being driven by the driving device via the drive frame device, so as to oscillate linearly along the second axis, and is for measuring a third outer rate of rotation about the first axis. The first rate-of-rotation sensor device is connected to the second rate-of-rotation sensor device by the drive frame device. The drive frame device includes a first and second drive frame, which may be driven by the driving device in phase opposition, along the third axis, in an oscillatory manner.