진단 시스템

본 개시는, 복수의 요인, 혹은 복수의 복합 요인이 생각되는 에러라도, 적절하게 원인을 특정할 수 있는 진단 시스템을 제안하는 것이다. 본 개시에 따른 진단 시스템은, 검사 장치의 동작을 규정한 레시피, 상기 장치의 상태를 기술한 로그 데이터, 또는 상기 시료의 특성을 기술한 시료 데이터 중 적어도 어느 것을, 상기 장치의 에러 종류와 대응지어 학습하는 학습기를 구비하고, 상기 학습기를 사용하여, 상기 에러의 원인을 추정한다(도 4 참조). The present disclosure proposes a diagnostic system...

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Main Authors UEDA KAZUHIRO, ISHIKAWA MASAYOSHI, SASAJIMA FUMIHIRO, YOSHIDA YASUHIRO, TAKANO MASAMI
Format Patent
LanguageKorean
Published 30.09.2022
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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Summary:본 개시는, 복수의 요인, 혹은 복수의 복합 요인이 생각되는 에러라도, 적절하게 원인을 특정할 수 있는 진단 시스템을 제안하는 것이다. 본 개시에 따른 진단 시스템은, 검사 장치의 동작을 규정한 레시피, 상기 장치의 상태를 기술한 로그 데이터, 또는 상기 시료의 특성을 기술한 시료 데이터 중 적어도 어느 것을, 상기 장치의 에러 종류와 대응지어 학습하는 학습기를 구비하고, 상기 학습기를 사용하여, 상기 에러의 원인을 추정한다(도 4 참조). The present disclosure proposes a diagnostic system capable of properly identifying the cause of even an error for which multiple factors or multiple compound factors may be accountable. The diagnostic system according to the present disclosure is provided with a learning device for learning at least one of a recipe defining operations of an inspection device, log data describing states of the device, or specimen data describing characteristics of a specimen in association with error types of the device, and estimates the cause of the error by using the learning device (refer to FIG. 4).
Bibliography:Application Number: KR20227029393