압전 디바이스

적층부(120)는 적어도 오목부(113)의 상방에서 단결정 압전체층(130)과, 단결정 압전체층(130)에 전압을 인가하는 1쌍의 전극층을 포함한다. 1쌍의 전극층의 적어도 일부를 구성하고, 단결정 압전체층(130)의 기부(111) 측을 따라 연장되는 하부전극층(150)은 오목부(113) 내에만 위치한다. In a piezoelectric device, a layered portion includes, at a position at least above a recess, a single crystal piezoelectric lay...

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Main Authors KISHIMOTO YUTAKA, IKEUCHI SHINSUKE
Format Patent
LanguageKorean
Published 16.09.2022
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Summary:적층부(120)는 적어도 오목부(113)의 상방에서 단결정 압전체층(130)과, 단결정 압전체층(130)에 전압을 인가하는 1쌍의 전극층을 포함한다. 1쌍의 전극층의 적어도 일부를 구성하고, 단결정 압전체층(130)의 기부(111) 측을 따라 연장되는 하부전극층(150)은 오목부(113) 내에만 위치한다. In a piezoelectric device, a layered portion includes, at a position at least above a recess, a single crystal piezoelectric layer and a pair of electrode layers to apply voltage to the single crystal piezoelectric layer. At least a portion of the pair of electrode layers includes a lower electrode layer extending along a surface of the single crystal piezoelectric layer, the surface being closer to a base. The lower electrode layer is present only inside the recess.
Bibliography:Application Number: KR20227027468