SIMULATION METHOD STORAGE MEDIUM SIMULATION APPARATUS FILM FORMING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING ARTICLE

• Main Authors: OGUCHI YUICHIRO, KATSUTA KEN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 13.09.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CALCULATING; CINEMATOGRAPHY; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

The present invention provides a simulation method for predicting the behavior of a curable composition in a process of contacting a plurality of droplets of a curable composition disposed on a first member with a second member and forming a film of the curable composition on the first member. The method includes the steps of: determining a volume used to predict a behavior of each of a plurality of specific droplets disposed inside a prediction target region for predicting a behavior among a plurality of droplets, based on an index representing the positional relationship between the boundary of the prediction target region and each specific droplet; and predicting the behavior of the curable composition inside the prediction target region based on the volume determined for each of the plurality of specific droplets. 본 발명은 제1 부재 상에 배치된 경화성 조성물의 복수의 액적과 제2 부재를 접촉시키고, 제1 부재 상에 경화성 조성물의 막을 형성하는 프로세스에서 경화성 조성물의 거동을 예측하는 시뮬레이션 방법을 제공하며, 이 방법은: 예측 대상 영역의 경계와 각각의 특정 액적 간의 위치 관계를 나타내는 지표에 기초하여, 복수의 액적 중, 거동을 예측하기 위한 예측 대상 영역 내측에 배치된 복수의 특정 액적 각각에 대하여 거동을 예측하기 위해 사용되는 체적을 결정하는 단계; 및 복수의 특정 액적 각각에 대해 결정된 체적에 기초하여 예측 대상 영역 내측의 경화성 조성물의 거동을 예측하는 단계를 포함한다.