PRECISION SCREEN PRINTING WITH SUB-MICRON UNIFORMITY OF METALLIZATION MATERIALS ON GREEN SHEET CERAMIC

• Main Authors: CRIMINALE PHILLIP, BABAYAN STEVEN, HUANG SHIH YING, PROUTY STEPHEN, HUANG ANTHONY
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 02.09.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; PRINTED CIRCUITS; SEMICONDUCTOR DEVICES

그린 시트 세라믹 상에 프린팅되는 금속화 재료들의 서브-미크론 균일성을 가능하게 하는 정밀 스크린 프린팅이 설명된다. 일부 예들에서, 퍽은, 전기 트레이스들의 패턴으로 세라믹 그린 시트 상에, 금속을 함유하는 페이스트를 스크린 프린팅하고, 그리고 프린팅된 그린 시트를 프로세싱하여 워크피스 캐리어의 퍽을 형성함으로써, 전기 트레이스들을 갖도록 형성된다. 일부 예들에서, 프린팅하는 단계는, 그린 시트가 스크린 프린터의 프린터 베드 상에 있는 동안, 스퀴징 방향으로, 프린팅되는 그린 시트에 스크린 프린터의 스퀴지를 가하는 단계를 포함한다. 방법은, 스퀴징 방향을 따라 다수의 위치들에서 프린터 베드를 맵핑하는 단계, 프린터 베드 맵핑에서 비-균일성들을 식별하는 단계, 및 프린터 베드의 맵핑된 비-균일성들을 보상하기 위해 스크린 프린터의 프린터 제어기를 수정하는 단계를 더 포함한다. Precision screen printing is described that is capable of sub-micron uniformity of the metallization materials that are printed on green sheet ceramic. In some examples, puck is formed with electrical traces by screen printing a paste that contains metal on a ceramic green sheet in a pattern of electrical traces and processing the printed green sheet to form a puck of a workpiece carrier. In some example, the printing includes applying a squeegee of a screen printer to the printed green sheet in a squeegeeing direction while the green sheet is on a printer bed of the screen printer. The method further includes mapping the printer bed at multiple locations along the squeegeeing direction, identifying non-uniformities in the printer bed mapping, and modifying a printer controller of the screen printer to compensate for mapped non-uniformities in the printer bed.