양면 정전 클램프를 제조하기 위한 시스템 및 방법

• Main Authors: LIPSON MATTHEW, AKBAS MEHMET ALI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 02.09.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

정전 클램프를 제조하기 위한 시스템, 장치 및 방법이 제공된다. 일 예시적인 방법은, 제 1 시간을 포함하는 제 1 시간 기간 동안에 정상 클램프를 형성하는 단계를 포함할 수 있고, 그 정상 클램프는 제 1 세트의 전극 및 복수의 버얼(burl)을 포함한다. 본 방법은 제 1 시간과 겹치는 제 2 시간을 포함하는 제 2 시간 기간 동안에 코어를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 그 코어는 열적으로 조절된 유체를 운반하도록 구성된 복수의 유체 채널을 포함한다. 본 방법은 제 1 시간 및 제 2 시간과 겹치는 제 3 시간을 포함하는 제 3 시간 기간 동안에 바닥 클램프를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있으며, 그 바닥 클램프는 제 2 세트의 전극을 포함한다. 일부 양태에서, 본 예시적인 방법은 양극 접합 없이 정전 클램프를 제조하는 단계를 포함할 수 있다. Systems, apparatuses, and methods are provided for manufacturing an electrostatic clamp. An example method can include forming, during a first duration of time comprising a first time, a top clamp comprising a first set of electrodes and a plurality of burls. The method can further include forming, during a second duration of time comprising a second time that overlaps the first time, a core comprising a plurality of fluid channels configured to carry a thermally conditioned fluid. The method can further include forming, during a third duration of time comprising a third time that overlaps the first time and the second time, a bottom clamp comprising a second set of electrodes. In some aspects, the example method can include manufacturing the electrostatic clamp without an anodic bond.