결합된 OCD 및 광반사변조 방법 및 시스템

• Main Authors: BARAK GILAD, OREN YONATAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 30.08.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MATERIALS THEREFOR; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

타깃 샘플의 광학 속성의 측정에서 OCD 성능을 개선하기 위한 결합된 OCD 및 광반사변조 시스템 및 방법. 시스템은 (a) 타깃 샘플의 광학 속성을 측정하기 위해, 타깃 샘플에 수직 방향/사선 방향으로 구성된 단일 프로브 빔으로 구성된 단일 채널 OCD 셋업 또는 타깃 샘플에 수직 방향 및 사선 방향으로 구성된 다중 프로브 빔을 갖는 다채널 OCD 셋업, (b) 적어도 하나의 레이저 빔을 생성하기 위한 적어도 하나의 레이저 소스, (c) 적어도 하나의 레이저 빔을 적어도 하나의 교대로 변조된 레이저 빔으로 변환하기 위한 적어도 하나의 변조 디바이스, 및 (d) 상기 타깃 샘플로부터 반사된 적어도 하나의 광 빔의 스펙트럼 성분을 측정하기 위한 적어도 하나의 분광기를 포함하며, 적어도 하나의 교대로 변조된 레이저 빔은 타깃 샘플의 스펙트럼 반사율을 교대로 변조한다. A combined OCD and photoreflectance system and method for improving the OCD performance in measurements of optical properties of a target sample. The system comprises (a) either a single channel OCD set-up comprised of a single probe beam configured in a direction normal/oblique to the target sample or a multi-channel OCD set-up having multiple probe beams configured in normal and oblique directions to the target sample for measuring the optical properties of the target sample, (b) at least one laser source for producing at least one laser beam, (c) at least one modulation device to turn the at least one laser beam into at least one alternatingly modulated laser beam, and (d) at least one spectrometer for measuring spectral components of the at least one light beam reflecting off said target sample; wherein the at least one alternatingly modulated laser beam is alternatingly modulating the spectral reflectivity of the target sample,