흡입 클램프, 대상물 핸들러, 스테이지 장치 및 리소그래피 장치

• Main Author: KRAMER GIJS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 22.08.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HAND TOOLS; HOLOGRAPHY; MANIPULATORS; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

본 발명은 대상물을 클램핑하기 위한 흡입 클램프를 제공한다. 흡입 클램프는 베이스와 연결 영역을 포함하는 베이스 구조체, 및 대상물을 수용하기 위한 제1 패드를 포함한다. 흡입 클램프는 제1 패드가 대상물을 수용하기 위한 수용 위치와 대상물을 클램핑하기 위한 클램핑 위치 사이에서 베이스에 대해 이동 가능하도록 제1 패드를 베이스 구조체의 연결 영역에 연결하는 탄성 부재를 더 포함하며, 탄성 부재는 제1 패드를 수용 위치로 편향시키도록 조정된다. 흡입 클램프는 베이스에 배열되며 제1 패드 상에 대상물을 클램핑하기 위한 흡입력을 제공하기 위하여 흡입 디바이스에 연결되도록 조정된 흡입 개구를 더 포함한다. The invention provides a suction clamp for clamping an object. The suction clamp comprises a base structure comprising a base and a connection area, and a first pad for receiving the object. The suction clamp further comprises a resilient member connecting the first pad to the connection area of the base structure such that the first pad is moveable relative to the base between a receiving position for receiving the object and a clamping position for clamping the object, wherein the resilient member is adapted to bias the first pad to the receiving position. The suction clamp further comprises a suction opening arranged in the base and adapted to be connected to a suction device for providing a suction force for clamping the object on the first pad.