감소된 입자 생성을 제공하는 정전 필터

• Main Authors: SINCLAIR FRANK, LIKHANSKII ALEXANDRE, CUCCHETTI ANTONELLA, HERMANSON ERIC D, LINDBERG ROBERT C, SCHEUER JAY T
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 19.08.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

정전 렌즈에서 입자 생성을 감소시키기 위한 접근 방식들이 본원에 제공된다. 일부 실시예들에서, 이온 주입 시스템은 이온 빔을 수신하기 위한 입구 및 목표물을 향해 이온 빔을 전달하기 위한 출구를 포함하는 정전 렌즈를 포함할 수 있으며, 정전 렌즈는 이온 빔라인의 제1 측면을 따라 배치되는 제1 터미널(terminal) 전극, 제1 억제 전극, 및 제1 접지 전극을 포함하고, 여기서 제1 접지 전극은 접지되며 출구에 인접하여 위치된다. 정전 렌즈는 이온 빔라인의 제2 측면을 따라 배치되는 제2 터미널 전극, 제2 억제 전극, 및 제2...