광대역 광반사 분광법을 위한 방법 및 시스템

• Main Authors: BARAK GILAD, OREN YONATAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 02.08.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

샘플에서 반사하는 "펌프 온" 광빔 및 "펌프 오프 광빔을 개별적으로 축적하기 위한 광반사(PR) 분광학 시스템 및 방법이 개시된다. 시스템은: (a) 프로브 빔을 생성하기 위한 프로브 소스 - 상기 프로브 빔은 샘플의 스펙트럼 반사율을 측정하는 데 사용됨 (b) 펌프 빔을 생성하기 위한 펌프 소스, (c) 적어도 하나의 분광계, (d) 샘플로부터 반사되는 광빔이 교대로 "펌프 온" 광빔 및 "펌프 오프" 광빔이도록, 펌프 빔으로 하여금 샘플의 스펙트럼 반사율을 교대로 변조할 수 있게 하는 제1 변조 장치; (e) "펌프 온" 광빔 및 "펌프 오프" 광빔을 적어도 하나의 분광계로 교대로 지향시키도록 샘플로부터 반사되는 광빔의 경로에 있는 제2 변조 장치; 및 (f) 컴퓨터를 포함한다. . Photoreflectance (PR) spectroscopy system and method for accumulating separately a "pump on" light beam and a "pump off light beam reflecting off a sample. The system comprises: (a) a probe source for producing a probe beam, the probe beam is used for measuring spectral reflectivity of a sample, (b) a pump source for producing a pump beam, (c) at least one spectrometer, (d) a first modulation device to allow the pump beam to alternatingly modulate the spectral reflectivity of the sample, so that, a light beam reflecting from the sample is alternatingly a "pump on" light beam and a "pump off light beam, (e) a second modulation device in a path of the light beam reflecting off the sample to alternatingly direct the "pump on" light beam and the "pump off light beam to the at least one spectrometer, and (f) a computer.