하전 입자선 장치 및 검사 장치

• Main Authors: KAWADA HIROKI, SUZUKI MAKOTO, SHINTANI ATSUKO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

검출기의 신호 처리 지연에 기인하는 시간적인 신호의 퍼짐의 영향, 즉 주사 방향의 화상의 블러를 해소한다. 이 때문에, 하전 입자선 장치는, 하전 입자 광학계와, 하전 입자선과 샘플의 상호 작용에 의해 방출되는 이차 하전 입자를 검출해서 검출 신호를 출력하는 검출기와, 샘플 상에서 하전 입자선을 2차원으로 주사하고, 검출기로부터 출력되는 검출 신호에 의거하는 제1 화상 데이터를 보정해서 제2 화상 데이터를 생성하는 연산부를 갖고, 연산부는, 제1 화상 데이터로부터 추출되는 n개의 제1 방향의 신호 강도 분포에 상당하는 제1 신호 프로파일과 검출기에 있어서의 신호 처리 지연에 상당하는 윈도우 함수의 파워 스펙트럼 밀도 P(f)(f : 공간 주파수)를 이용해서 제2 화상 데이터를 생성한다. System and method for preventing blurring of an image in a scanning direction caused by a signal processing delay of a detector, of a charged particle beam device. The charged particle beam device is configured to calibrate first image data generated based on a detection signal output from a detector when the sample is two-dimensionally scanned with the charged particle beam, to generate second image data, in which the second image data is generated using n first signal profiles each of which corresponds to a signal strength distribution in a first direction and which are extracted from the first image data, and a power spectral density P(f) (f: spatial frequency) of a window function corresponding to the signal processing delay of the detector.