유체 안내 도관 및/또는 챔버를 연결하기 위한 장치

본 발명은 전자기 고주파장에서 유체 안내 도관들(2) 및 챔버들(3)을 연결하기 위한 장치(1)에 관한 것으로, 이러한 장치는 각각 고유 강성의 도관 몸체 내벽(5, 7)을 갖는 2개의 도관 몸체(4, 6) 및 벨로우즈(8)를 포함하고, 도관 몸체 내벽들(5, 7)은 함께 장치(1)를 통과하여 유체를 관류되는 내부 중공 공간(9)을 에워싸고, 도관 몸체들(4, 6)은 벨로우즈(8)에 의해 서로 연결되며 밀봉적으로 에워싸이고 제1 도관 몸체(4) 및 제2 도관 몸체(6)는 서로 상대적으로 이동 가능 및/또는 틸팅 가능하고, 제2 도관...

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Main Author MAYER THOMAS
Format Patent
LanguageKorean
Published 19.07.2022
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Summary:본 발명은 전자기 고주파장에서 유체 안내 도관들(2) 및 챔버들(3)을 연결하기 위한 장치(1)에 관한 것으로, 이러한 장치는 각각 고유 강성의 도관 몸체 내벽(5, 7)을 갖는 2개의 도관 몸체(4, 6) 및 벨로우즈(8)를 포함하고, 도관 몸체 내벽들(5, 7)은 함께 장치(1)를 통과하여 유체를 관류되는 내부 중공 공간(9)을 에워싸고, 도관 몸체들(4, 6)은 벨로우즈(8)에 의해 서로 연결되며 밀봉적으로 에워싸이고 제1 도관 몸체(4) 및 제2 도관 몸체(6)는 서로 상대적으로 이동 가능 및/또는 틸팅 가능하고, 제2 도관 몸체(6)의 제2 도관 몸체 내벽(7)은 제1 도관 몸체 내벽(5)에 의해 둘러싸인 내부 공간(10) 안으로 약간 돌출하고 이 위치에서 종결되며, 제1 도관 몸체 내벽(5)은 장치(1)의 적어도 하나의 탄성 변형 가능한 미끄럼 접촉부(11)를 이용하여 제2 도관 몸체 내벽(7)과 전기 전도적으로 연결된다. A device (1) for connecting fluid-conducting lines (2) and/or chambers (3) in a high-frequency electromagnetic field. The device includes two line bodies (4, 6) each having a line body inner wall (5, 7), which is rigid per se, and a bellows (8). The line body inner walls together enclose an inner cavity (9) for the passage of fluid through the device, and the line bodies are connected to one another, and enclosed with a sealing action, by the bellows and the first and second line bodies can be displaced and/or tilted relative to one another. The second line body inner wall projects a little into an interior space (10) surrounded by the first line body inner wall and ends there and the first line body inner wall is electrically conductively connected to the second line body inner wall by at least one elastically deformable sliding contact (11).
Bibliography:Application Number: KR20227014621