기판 공정을 위한 자동화된 비디오 분석 검출 기술을 위한 시스템 및 방법

• Main Authors: ESTRELLA JOEL, CARCASI MICHAEL, HOOGE JOSHUA
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 18.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

유체 분배 시스템의 특성에 관한 정보를 제공하기 위해 카메라 영상이 사용된다. 카메라 영상은 유체 분배 시스템의 하드웨어의 이동을 식별하기 위해 사용될 수 있다. 하드웨어의 이동은, 분배 방식에서 제공된 분배 시간과 하드웨어 이동 간의 상관관계에 기초하여, 유체 분배의 시작을 결정하기 위해 사용될 수 있다. 카메라 영상에서 유체의 존재를 검출하기 위해 카메라 영상에 대한 영상 분석을 수행함으로써, 유체 분배의 시작이 검출될 수 있다. 영상 분석은, 검출된 카메라 영상의 강도 분석을 포함할 수 있다. 다른 실시형태에서, 카메라 영상은, 기판 상에 형성된 유체의 에지를 검출하기 위해 사용된다. 에지는 기판을 스피닝시키기 전에 형성된 퍼들로서 검출될 수 있거나/검출될 수 있으며, 스피닝 동안 퍼들이 확산됨에 따라 검출될 수 있다. Camera images are utilized to provide information regarding characteristics of in a fluid dispense system. Camera images may be utilized to identify the movement of the hardware of a fluid dispense system. The movement of the hardware may be utilized to determine the beginning of a fluid dispense based upon a correlation between the hardware movement and a dispense time provided in a dispense recipe. The beginning of the fluid dispense may be detected by performing an image analysis on the camera images to detect the presence of the fluid in the camera image. The image analysis may involve an intensity analysis of the detected camera image. In another embodiment, the camera image is utilized to detect the edges of the fluid formed on substrate. The edges may be detected as a puddle formed prior to spinning the substrate and/or may be detected as the puddle spreads during spinning.