MEASURING DEVICE AND MEASURING METHOD

• Main Author: YOKOYAMA KIMIHIRO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.07.2022
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

Provided is a technology for stabilizing measurement precision of a measurement device. The measurement device according to an exemplary embodiment comprises a base substrate having an upper surface and a lower surface, a plurality of sensors, and a circuit board. The plurality of sensors are arranged along an edge of the base substrate and provide a plurality of electrodes facing downward. The circuit board is mounted on the base substrate. The circuit board is connected with each of the plurality of sensors. The circuit board transmits a high-frequency signal to the plurality of electrodes to generate a plurality of measurement values representing a capacitance from each of voltage amplitudes in the plurality of electrodes. The plurality of sensors protrude downward from the lower surface of the base substrate. [과제] 측정기의 측정 정밀도를 안정화시키는 기술을 제공한다. [해결 수단] 예시적 실시형태에 따른 측정기는, 상면 및 하면을 갖는 베이스 기판과, 복수의 센서와, 회로 기판을 구비한다. 복수의 센서는 베이스 기판의 에지를 따라서 배치되고, 하방을 향한 복수의 전극을 제공한다. 회로 기판은 베이스 기판 상에 탑재되어 있다. 회로 기판은 복수의 센서의 각각에 접속되어 있다. 회로 기판은 복수의 전극에 고주파 신호를 주어서 복수의 전극에 있어서의 전압 진폭의 각각으로부터 정전 용량을 나타내는 복수의 측정값을 생성한다. 복수의 센서는 베이스 기판의 하면보다 하방으로 돌출되어 있다.