METHOD FOR NON-DESTRUCTIVE INSPECTION OF A STRUCTURE AND CORRESPONDING SYSTEM

• Main Authors: KORB THOMAS, CORVERS STEPHAN, LOHO CHRISTOPH
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.07.2022
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

The present invention relates to a method of a non-destructive inspection of a substrate, preferably a structure of a glass substrate, preferably a through-glass via (TGV). The method of a non-destructive inspection of a structure comprises the following steps of: applying a moldable mass on a surface of the structure of the substrate; hardening the moldable mass so that the mass have elasticity; non-destructively removing the elastic mass from the structure; and analyzing the removed elastic mass according to at least one parameter, preferably a quality parameter. 본 발명은 기판, 바람직하게는 유리 기판의 구조체, 바람직하게는 관통 유리 비아(through-glass via, TGV)의 비파괴 검사 방법으로서, - 상기 기판의 상기 구조체의 표면 상에 몰딩 가능한 덩어리를 적용하는 단계, - 상기 몰딩 가능한 덩어리를 경화하여 덩어리가 탄성을 갖도록 하는 단계, - 상기 구조체로부터 상기 탄성 덩어리를 비파괴 제거하는 단계, 및 - 적어도 하나의 파라미터, 바람직하게는 품질 파라미터에 따라 상기 제거된 탄성 덩어리를 분석하는 단계 를 포함하는, 구조체의 비파괴 검사 방법에 관한 것이다.