유량 제어 장치, 유량 제어 장치의 제어 방법, 유량 제어 장치의 제어 프로그램

• Main Authors: KANAI YOSHITOMO, NOZAWA TAKAHIRO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 12.07.2022
• Subjects: CONTROLLING; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES

[과제] 유량을 설정 유량으로 고속으로 조정하는 유량 제어 장치를 얻는다. [해결수단] 피제어 대상에 공급되는 유체의 유량을 제어하여 피제어 대상 내를 유량 설정값으로 유지하는 유량 제어 장치(1)로서, 유체의 유량을 계측하는 유량 센서(102)에 의한 계측값을 취득하는 계측값 취득부(13)와, 유체의 유량 설정값을 취득하는 설정값 취득부(11)와, 유량 설정값과는 다른 유량 조정값을 결정하는 조정값 결정부(12)와, 계측값과 유량 조정값 간의 차가 작아지도록, 피제어 대상에 유체를 공급하는 밸브(105)의 개방도를 조정하여, 유체의 유량을 제어하는 구동 제어부(40)를 구비한다. A flow rate control device for rapidly adjusting a flow rate to a set flow rate is provided. A flow rate control device for controlling a flow rate of a fluid supplied to a controlled object to hold a flow rate set value in the controlled object includes a measured value acquisition unit acquiring a measured value by a flow rate sensor measuring a flow rate of the fluid, a setting value acquisition unit acquiring the flow rate set value of the fluid, an adjustment value determination unit determining a flow rate adjustment value different from the flow rate set value, and a drive control unit controlling the flow rate of the fluid by adjusting an opening position of a valve supplying the fluid to the controlled object to make a difference between the measured value and the flow rate adjustment value small.