ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS COMPOSITION AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME

• Main Authors: YEO DONG HUN, KIM SHI YEON, PARK ZEE HOON, SHIN HYO SOON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 28.06.2022
• Subjects: ARTIFICIAL STONE; CEMENTS; CERAMICS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDINGMATERIALS; CONCRETE; LIME, MAGNESIA; METALLURGY; REFRACTORIES; SLAG; TREATMENT OF NATURAL STONE

본 발명에 따른 질화 알루미늄 세라믹스 조성물은 주성분으로서의 질화 알루미늄(AlN)과, 제1첨가제로서의 CaCO3-Al2O3-SiO2 글라스와, 제2첨가제로서의 Y2O3 또는 MgO를 포함한 조성을 가지며, 이러한 본 발명의 조성물은 상압 및 1700~1900℃의 온도범위에서 소결하여도 양호한 소결성을 유지하고 대략 80~110W/m·K 범위로 우수한 질화 알루미늄 고유의 열전도도 수준을 유지하면서 400℃ 이상의 고온에서 대략 108~1011 Ω·cm 범위의 우수한 체적저항 특성을 갖는다. 따라서, 본 발명에 의한 질화알루미늄 세라믹스 조성물은 반도체 제조장치에 사용되는 정전척, 가열장치에서의 세라믹스 히터나 RF 전극 내장형 히터의 기재, 또는 전자부품이나 전기 자동차 부품의 방열을 위한 절연기판 등으로 유망하다.