CHUCK CLEANING APPARATUS CHUCK CLEANING METOHD AND INKJET PRINT SYSTEM USING THE SAME

• Main Authors: KIM YOUNG HO, HAN KYU YONG, PARK SANG PIL, GONG BYOUNG HOON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.06.2022
• Subjects: CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS; i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; LINING MACHINES; PERFORMING OPERATIONS; PRINTING; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS; STAMPS; TRANSPORTING; TYPEWRITERS

척 세정 장치와 이를 이용한 척 세정 방법 및 잉크젯 프린트 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 장치는, 흡기관과 연결 가능한 흡기홀이 형성된 흡기부와, 상기 흡기부에 연장 마련되고 기판을 지지 가능한 척에 단부 접촉 가능한 지지부를 가지는 커버를 포함하고, 상기 흡기관은 상기 커버에 의해 상기 척의 상부에 형성되는 중공부에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정할 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 척 세정 방법은, 척 세정 장치를 이용한 척 세정 방법에 있어서, 기판을 지지 가능한 척이 제1 방향에서 세정 구역으로 이동하는 (a) 단계(S10); 및 상기 척에 진공압을 형성하여 티끌과 먼지를 흡기해 상기 척을 세정하는 (c) 단계(S30)를 포함할 수 있다.