창을 갖는 레티클 포드

레티클 포드의 도어는 렌즈, 측벽 및 레지를 갖는 창을 포함한다. 창은 하우징과 커버 사이의 도어 내에 내부적으로 위치되거나 부착될 수 있다. 압축 밀봉부가 창과 함께 사용될 수 있다. 측벽, 레지 및 압축 밀봉부는 함께 작동하여, 외부 오염물질로부터 원하는 수준의 보호를 유지하면서 도어에 압축 끼워맞춤을 가능하게 한다. A door of a reticle pod includes a window having a lens, sidewall, and a ledge. The window may be positioned or affixed...

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Main Authors TIEBEN ANTHONY M, RASCHKE RUSS V, WANG HUAPING, EGGUM SHAWN D, WISEMAN BRIAN
Format Patent
LanguageKorean
Published 13.06.2022
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CINEMATOGRAPHY
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:레티클 포드의 도어는 렌즈, 측벽 및 레지를 갖는 창을 포함한다. 창은 하우징과 커버 사이의 도어 내에 내부적으로 위치되거나 부착될 수 있다. 압축 밀봉부가 창과 함께 사용될 수 있다. 측벽, 레지 및 압축 밀봉부는 함께 작동하여, 외부 오염물질로부터 원하는 수준의 보호를 유지하면서 도어에 압축 끼워맞춤을 가능하게 한다. A door of a reticle pod includes a window having a lens, sidewall, and a ledge. The window may be positioned or affixed internally in a door between the housing and a cover. A compressive seal may be used in conjunction with the window. The sidewalls, the ledge and the compressive seal work together to enable a compression fit in the door while maintained the desired level of protection from external contaminants.
Bibliography:Application Number: KR20227015165