EVAPORATION APPARATUS WITH SUBSTRATE FIXING PART

• Main Authors: KANG SEUNG HYEON, PARK CHAN SEOK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.06.2022
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

본 발명의 실시예에 따른 기판 고정부를 구비한 증착 장치는, 증착 장치에 있어서, 증착 물질이 기판에 분사되는 공간을 제공하는 챔버; 및 상기 기판을 고정하는 기판 고정부를 포함하되, 상기 기판 고정부는, 챔버의 상측에 배치되고, 상기 기판을 고정하는 척; 상기 기판이 평면 상태를 유지하도록 상기 기판을 지지하는 기판 지지부; 및 상기 기판 지지부에 탈착 가능하게 결합되고, 상기 기판의 상측면이 상기 척에 부착되도록 상기 기판 지지부를 승강시키는 아암부; 를 포함할 수 있다.