이미징 및 간섭 측정을 위한 장치 및 방법

• Main Authors: FRESQUET GILLES, COURTEVILLE ALAIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 03.06.2022
• Subjects: CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS; HOLOGRAPHY; MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC ORINFRASONIC WAVES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHOTOGRAPHY; PHYSICS; TESTING

본 발명은 객체(100)의 표면을 측정하는 장치(1000, 2000, 3000, 4000, 5000, 6000)에 관한 것이다. 이 장치는, - 적어도 하나의 광원(112, 212, 320, 520); - 적어도 하나의 광학 센서(102, 202, 624); 및 - 측정 암 및 기준 암을 갖는 간섭측정 장치를 포함하고, 상기 측정 암은 상기 적어도 하나의 광원(112, 212, 320, 520)으로부터 나오는 광을 포커싱 광학 시스템(107, 207)을 통해 상기 물체의 측정되는 표면을 향해 안내하고 또한 상기 측정되는 표면으로부터 나오는 광을 상기 적어도 하나의 광학 센서(102, 202, 624)를 향해 안내하도록 구성되고; 상기 측정 장치는 간섭측정 구성으로 지칭되는 제1 구성에서, 상기 기준 암 및 상기 측정 암을 상기 적어도 하나의 광원(112, 212, 320, 520)으로 조명하고 또한 상기 측정 암 및 상기 기준 암으로부터 나오는 광을 상기 적어도 하나의 광학 센서(102, 202, 624)를 향해 안내하도록 구성되어, 간섭 신호를 형성하고; 상기 측정 장치는 이미징 구성으로 지칭되는 제2 구성에서, 적어도 상기 측정 암을 조명하고 또한 상기 측정 암으로부터 나오는 광만을 상기 적어도 하나의 광학 센서(102, 202, 624)를 향해 안내하도록 구성되어, 상기 측정되는 표면의 이미지를 형성하고; 상기 측정 장치는 상기 간섭 신호 및 상기 이미지로부터, 측정되는 표면에 대한 정보를 생성하도록 구성되는 디지털 처리 수단을 더 포함한다. 본 발명은 또한 객체(100)의 표면을 측정하는 방법(10)에 관한 것이다. A device and method for measuring a surface of an object, including at least one light source, at least one optical sensor, and an interferometry device having a measurement arm and a reference arm, the former directing light from each light source towards the surface of the object and directing light from the surface towards each optical sensor; the measurement device, in an interferometry configuration, illuminating the reference arm and the measurement arm with each light source and directing the light from the measurement arm and the reference arm towards each optical sensor to form an interference signal; the measurement device, in an imaging configuration illuminating at least the measurement arm and directing the light from the measurement arm towards the optical sensor to form an image of the surface; the measurement device including a digital processor producing, from the interference signal and the image, information on the surface.