전자광학 파형 분석 프로세스

• Main Authors: PEY KIN LEONG, RAVIKUMAR VENKAT KRISHNAN, CHIN JIANN MIN, YANG JOEL KWANG WEI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 13.05.2022
• Subjects: MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

재구성 가능한 광학 프로브는 테스트 중인 디바이스로부터의 신호를 측정하는 데 사용된다. 재구성 가능한 광학 프로브는 테스트 중인 디바이스의 셀 내의 목표 프로브 위치에 위치된다. 셀은 피측정 목표 네트 및 비목표 네트를 포함한다. 테스트 패턴이 셀에 적용되고 이에 따라 레이저 프로브(LP) 파형이 얻어진다. 목표 네트 파형은, (i) 링 형상 빔의 중심에 비교적 낮은 강도 영역을 갖는 링 형상 빔을 생성하도록 재구성 가능한 광학 프로브를 구성하는 것; (ii) 목표 네트에 비교적 낮은 강도 영역이 적용된 목표 프로브 위치에서의 셀에 테스트 패턴을 재적용하고 이에 따라 크로스토크 LP 파형을 얻는 것; (iii) 크로스토크 LP 파형을 정규화하는 것; 및 (iv) LP 파형으로부터 정규화된 크로스토크 LP 파형을 제하여 목표 네트 파형을 결정하는 것에 의해 LP 파형으로부터 추출된다. A reconfigurable optic probe is used to measure signals from a device under test. The reconfigurable optic probe is positioned at a target probe location within a cell of the device under test. The cell including a target net to be measured and non-target nets. A test pattern is applied to the cell and a laser probe (LP) waveform is obtained in response. A target net waveform is extracted from the LP waveform by: i) configuring the reconfigurable optic probe to produce a ring-shaped beam having a relatively low-intensity region central to the ring-shaped beam; (ii) re-applying the test pattern to the cell at the target probe location with the relatively low-intensity region applied to the target net and obtaining a cross-talk LP waveform in response; (iii) normalizing the cross-talk LP waveform; and (iv) determining a target net waveform by subtracting the normalized cross-talk LP waveform from the LP waveform.