기판의 화학적 표면 처리 및/또는 전해 표면 처리를 위한 공정 유체를 위한 분배체

• Main Authors: ENGESSER PHILIPP, GLEISSNER ANDREAS, OKORN SCHMIDT HARALD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 09.05.2022
• Subjects: APPARATUS THEREFOR; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTROFORMING; ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLICMATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASSC23 AND AT LEAST ONEPROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25; NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTIONOF COATINGS; PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROMOBJECTS

본 발명은 기판의 화학적 표면 처리 및/또는 전해 표면 처리를 위한 공정 유체를 위한 분배체, 공정 유체에서의 기판의 화학적 표면 처리 및/또는 전해 표면 처리를 위한 분배 시스템, 공정 유체에서의 기판의 화학적 표면 처리 및/또는 전해 표면 처리를 위한 분배체 또는 분배 시스템의 사용, 및 기판의 화학적 표면 처리 및/또는 전해 표면 처리를 위한 공정 유체를 위한 분배 방법에 관한 것이다. 분배체는 전방 면, 후방 면, 적어도 주입구, 출구 어레이, 및 유동 제어 어레이를 포함한다. 전방 면은 기판의 표면 처리를 위해 기판을 향하여 지향되도록 구성된다. 후방 면은 전방 면의 반대편에 배열된다. 주입구는 분배체 내로 공정 유체의 유입이 가능하도록 구성된다. 출구 어레이는 분배체로부터 나와 기판을 향해 공정 유체의 유출이 가능하도록 구성되는 다수의 출구들을 포함한다. 유동 제어 어레이는 공정 유체의 유동에 대하여 출구 어레이의 상류에 배열되고, 다수의 유동 제어 요소들을 포함한다. The invention relates to a distribution body for a process fluid for chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate, a distribution system for chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate in a process fluid, a use of a distribution body or a distribution system for a chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate in a process fluid and a distribution method for a process fluid for chemical and/or electrolytic surface treatment of a substrate.The distribution body comprises: a front face, a rear face, at least an inlet, an outlet array, and a flow control array. The front face is configured to be directed towards the substrate for the surface treatment of the substrate. The rear face is arranged opposite to the front face. The inlet is configured for an entry of the process fluid into the distribution body. The outlet array comprises several outlets, which are configured for an exit of the process fluid out of the distribution body and towards the substrate. The flow control array is arranged upstream of the outlet array with respect to a flow of the process fluid and comprises several flow control elements.