PROCESSING SYSTEM AND TRANSFER METHOD

• Main Authors: AMIKURA NORIHIKO, KITA MASATOMO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 03.05.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The present invention provides a technology capable of efficiently replacing a consumption member in a processing chamber. A processing system according to one aspect of the present disclosure comprises: a chamber in which a consumption member is installed; an accommodation module for accommodating the consumption member; a position detection sensor for detecting the position of the consumption member; a vacuum transfer module which is connected to the chamber and the accommodation module, and has a transfer robot for transferring the consumption member between the chamber and the accommodation module; and a control unit, wherein the control unit is configured to execute: (a) a process for transferring the consumption member installed in the chamber to the accommodation module by controlling the transfer robot; (b) a process for detecting the position of the consumption member transferred to the accommodation module by the position detection sensor; and (c) a process for transferring a new consumption member, which is different from the previous consumption member, to the chamber from the accommodation module by controlling the transfer robot based on the position of the consumption member detected in process (b). [과제] 처리실 내의 소모 부재를 효율적으로 교환할 수 있는 기술을 제공한다. [해결 수단] 본 개시의 일 태양에 의한 처리 시스템은, 내부에 소모 부재가 장착되는 챔버와, 상기 소모 부재를 수납하는 수납 모듈과, 상기 소모 부재의 위치를 검출하는 위치 검출 센서와, 상기 챔버 및 상기 수납 모듈에 접속되는 진공 반송 모듈로서, 상기 챔버와 상기 수납 모듈 사이에서 상기 소모 부재를 반송하는 반송 로봇을 갖는 진공 반송 모듈과, 제어부를 포함하며, 상기 제어부는, (a) 상기 반송 로봇을 제어해서 상기 챔버에 장착된 상기 소모 부재를 상기 수납 모듈에 반송하는 공정과, (b) 상기 수납 모듈에 반송되는 상기 소모 부재의 위치를 상기 위치 검출 센서로 검출하는 공정과, (c) 상기 반송 로봇을 제어해서 상기 공정(b)에 있어서 검출된 상기 소모 부재의 위치에 근거해서 상기 소모 부재와는 상이한 새로운 소모 부재를 상기 수납 모듈로부터 상기 챔버에 위치 보정해서 반송하는 공정을, 실행하도록 구성된다.