광음향 가스 센서 디바이스
가스 내의 성분의 존재 또는 농도를 나타내는 값을 결정하기 위한 광음향 가스 센서 디바이스는 측정 체적(3)을 에워싸는 측정 셀(2) 및 가스가 측정 체적(3)에 진입하게 하기 위한 측정 셀(2) 내의 가스 투과성 영역(4)을 포함한다. 전자기 방사선 소스(7)가 전자기 방사선(8)을 측정 체적(3) 내로 방출하도록 배열되고, 압력 변환기(6)가 측정 체적(3) 내의 성분에 의한 전자기 방사선(8)의 흡수에 응답하여 성분에 의해 발생된 음파(9)를 측정하도록 배열된다. 일 양태에서, 가스 투과성 영역(4)은 10 nm 내지 1 pm...
Saved in:
Main Authors | , , |
---|---|
Format | Patent |
Language | Korean |
Published |
05.04.2022
|
Subjects | |
Online Access | Get full text |
Cover
Loading…
Be the first to leave a comment!