광음향 가스 센서 디바이스

• Main Authors: HUNZIKER WERNER, BUERGI LUKAS, UEHLINGER THOMAS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 05.04.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

가스 내의 성분의 존재 또는 농도를 나타내는 값을 결정하기 위한 광음향 가스 센서 디바이스는 측정 체적(3)을 에워싸는 측정 셀(2) 및 가스가 측정 체적(3)에 진입하게 하기 위한 측정 셀(2) 내의 가스 투과성 영역(4)을 포함한다. 전자기 방사선 소스(7)가 전자기 방사선(8)을 측정 체적(3) 내로 방출하도록 배열되고, 압력 변환기(6)가 측정 체적(3) 내의 성분에 의한 전자기 방사선(8)의 흡수에 응답하여 성분에 의해 발생된 음파(9)를 측정하도록 배열된다. 일 양태에서, 가스 투과성 영역(4)은 10 nm 내지 1 pm의 다공성 가스 투과성 멤브레인(5)의 평균 공극 크기를 갖는 다공성 가스 투과성 멤브레인(5)에 의해 표현된다. 다른 양태에서, 가스 투과성 영역(4)은 100 nm 내지 10 ㎛의 구멍(211)의 직경을 갖는, 측정 셀(2)의 다른 기밀 재료를 통해 도달하는 구멍(211)을 포함하는 측정 셀(2)의 영역에 의해 표현된다. A photoacoustic gas sensor device for determining a value indicative of a presence or a concentration of a component in a gas comprises a measurement cell (2) enclosing a measurement volume (3) and a gas permeable area (4) in the measurement cell (2) for a gas to enter the measurement volume (3). An electromagnetic radiation source (7) is arranged to emit electromagnetic radiation (8) into the measurement volume (3), and a pressure transducer (6) is arranged to measure a sound wave (9) generated by the component in response to an absorption of electromagnetic radiation (8) by the component in the measurement volume (3). In one aspect, the gas permeable area (4) is represented by a porous gas permeable membrane (5) with an average pore size of the porous gas permeable membrane (5) between 10 nm and 1 µm. In another aspect the gas permeable area (4) is represented by an area of the measurement cell (2) containing holes (211) reaching through an otherwise gas tight material of the measurement cell (2), with a diameter of the holes (211) between 100 nm and 10 µm.