측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 입자를 감지하기 위한 센서 소자

• Main Authors: BAARS ENNO, SCHILLING CAROLIN MARIA, EBEL JENS
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 31.03.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

본 발명은 측정 가스 챔버 내의 측정 가스의 입자를 감지하기 위한 센서 소자(112)에 관한 것이다. 센서 소자(112)는 적어도 하나의 기판(134); 및 빗 형태로 서로 맞물리는, 적어도 하나의 제 1 전극(116) 및 적어도 하나의 제 2 전극(118)을 포함한다. 센서 소자(112)는 또한 적어도 고온에서 전기 전도성인 적어도 하나의 재료(124)를 가지며, 상기 재료는 적어도 고온(T)에서 전기적으로 양전하를 띤 자유 전하 캐리어와 전기적으로 음전하를 띤 자유 전하 캐리어를 모두 갖는다. 재료(124)는 기판(134) 상에 배치되고, 재료(124)는 적어도 고온(T)에서 제 1 전극(116)과 제 2 전극(118)을 전기적으로 연결한다. The invention relates to a sensor element (112) for sensing particles of a measurement gas in a measurement gas chamber. The sensor element (112) comprises: at least one substrate (134); and at least one first electrode (116) and at least one second electrode (118), which mesh with each other in a comb-like manner. The sensor element (112) also has at least one material (124) which is electrically conductive at least at high temperature, said material having both electrically positively charged free charge carriers and electrically negatively charged free charge carriers at least at high temperature (T). The material (124) is arranged on the substrate (134), and the material (124) electrically connects the first electrode (116) and the second electrode (118) at least at high temperature (T).