차단 밸브
차단 밸브들, 차단 밸브들을 포함하는 챔버 시스템 및 차단 밸브들을 사용하는 방법들이 설명된다. 일부 실시예들에서, 차단 밸브는 밸브 본체 및 플래퍼 조립체를 포함할 수 있다. 밸브 본체는 제1 유체 볼륨, 제2 유체 볼륨 및 안착 표면을 한정할 수 있다. 플래퍼 조립체는, 밸브 본체 내부에 배치되고 안착 표면에 상보적인 플래퍼 표면을 갖는 플래퍼를 포함할 수 있다. 플래퍼는, 제1 유체 볼륨과 제2 유체 볼륨 사이에서의 유체 유동을 허용하기 위해 플래퍼 표면이 안착 표면으로부터 멀어질 수 있도록, 밸브 본체 내에서 제1 포지션으로...
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Format | Patent |
Language | Korean |
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24.03.2022
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Summary: | 차단 밸브들, 차단 밸브들을 포함하는 챔버 시스템 및 차단 밸브들을 사용하는 방법들이 설명된다. 일부 실시예들에서, 차단 밸브는 밸브 본체 및 플래퍼 조립체를 포함할 수 있다. 밸브 본체는 제1 유체 볼륨, 제2 유체 볼륨 및 안착 표면을 한정할 수 있다. 플래퍼 조립체는, 밸브 본체 내부에 배치되고 안착 표면에 상보적인 플래퍼 표면을 갖는 플래퍼를 포함할 수 있다. 플래퍼는, 제1 유체 볼륨과 제2 유체 볼륨 사이에서의 유체 유동을 허용하기 위해 플래퍼 표면이 안착 표면으로부터 멀어질 수 있도록, 밸브 본체 내에서 제1 포지션으로 피봇 가능할 수 있다. 플래퍼는, 제1 유체 볼륨과 제2 유체 볼륨 사이에서의 유체 유동을 제한하는 비접촉 시일을 형성하기 위해 플래퍼 표면이 안착 표면에 근접할 수 있도록, 밸브 본체 내에서 제2 포지션으로 피봇 가능할 수 있다.
Described are isolation valves, and chamber systems incorporating and methods of using the isolation valves. In some embodiments, an isolation valve may include a valve body and a flapper assembly. The valve body may define a first fluid volume, a second fluid volume, and a seating surface. The flapper assembly may include a flapper disposed inside the valve body having a flapper surface complimentary to the seating surface. The flapper may be pivotable within the valve body to a first position such that the flapper surface may be away from the seating surface to allow fluid flow between the first fluid volume and the second fluid volume. The flapper may be pivotable within the valve body to a second position such that the flapper surface may be proximate the seating surface to form a non-contact seal to restrict fluid flow between the first fluid volume and the second fluid volume. |
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Bibliography: | Application Number: KR20227006369 |