3 THREE-DIMENSIONAL RECONSTRUCTION OF A SEMICONDUCTOR SPECIMEN

• Main Authors: ELIASOF MOSHE, CHIRKO KONSTANTIN, AMA MICHAEL, BISTRITZER RAFAEL, LEVANT ANNA
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 24.03.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

The present invention relates to a field of specimen inspection and, more specifically, to automation of the specimen inspection. The present invention provides a system for obtaining a first image and a second image in an area of a semiconductor specimen obtained by an electronic beam test tool at a first illumination angle and a second illumination angle, respectively, and for determining a plurality of height values providing information on a height profile of a specimen in the area, and a method thereof. Determination includes solving an optimization problem including a plurality of functions, and each function indicates a difference between data giving information on an intensity of a gray level at a first position of the first image and data giving information on an intensity of a gray level at a second position of the second image. When the optimization problem about each function is solved, the second position is determined regarding the first position, or the first position is determined regarding the second position. The distance between the first position and the second position depends on the height profile and the first and second illumination angles. 제1(제각기, 제2) 조명 각도에서 전자 빔 검사 툴에 의해 취득되는 반도체 시편의 영역의 제1(제각기, 제2) 이미지를 획득하는 것, 및 영역 내의 시편의 높이 프로파일에 대한 정보를 주는 복수의 높이 값들을 결정하는 것을 포함하는 시스템 및 방법이 제공되며, 결정은 복수의 함수들을 포함하는 최적화 문제를 푸는 것을 포함하고, 각각의 함수는 제1 이미지의 제1 위치에서의 그레이 레벨 강도에 대한 정보를 주는 데이터와 제2 이미지의 제2 위치에서의 그레이 레벨 강도에 대한 정보를 주는 데이터 사이의 차이를 나타내고, 각각의 함수에 대해, 최적화 문제를 풀 때 제2 위치가 제1 위치에 대하여 결정되거나 그 반대로 이루어지고, 제1 위치와 제2 위치 사이의 거리는 높이 프로파일, 및 제1 및 제2 조명 각도들에 의존한다.