Substrate transport vacuum platform

• Main Authors: HOSEK MARTIN, HOFMEISTER CHRISTOPHER
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.03.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BEARINGS; BLASTING; CIRCUIT ARRANGEMENTS OR SYSTEMS FOR SUPPLYING OR DISTRIBUTINGELECTRIC POWER; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; FLEXIBLE SHAFTS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; GENERATION; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHAFTS; SYSTEMS FOR STORING ELECTRIC ENERGY; THERMAL INSULATION IN GENERAL; WEAPONS

상부에 적어도 하나의 기판을 지지하도록 구성된 제1 디바이스; 및 제1 이송으로서, 그와 연결된 디바이스를 갖는 제1 이송을 포함하는 장치. 이송은 디바이스를 운반하도록 구성된다. 이송은, 선형 경로를 따라 서로에 대해 이동가능한 복수의 지지부들; 지지부들을 적어도 부분적으로 서로 체결(couple)하는 적어도 하나의 자기 베어링을 포함한다. 자기 베어링들 중 제1 자기 베어링은 제1 영구 자석 및 제2 자석을 포함한다. 제1 영구 자석은 지지부들 중 제1 지지부와 연결된다. 제1 지지부와 연결된 자기장 조절부를 포함하고, 자기장 조절부는 제2 자석에 대해 제1 영구 자석의 자기장 영향을 변동하고 및/또는 제1 영구 자석을 이동시키도록 구성된다. An apparatus including a first device configured to support at least one substrate thereon; and a first transport having the device connected thereto. The transport is configured to carry the device. The transport includes a plurality of supports which are movable relative to one another along a linear path; at least one magnetic bearing which at least partially couples the supports to one another. A first one of the magnetic bearings includes a first permanent magnet and a second magnet. The first permanent magnet is connected to a first one of the supports. A magnetic field adjuster is connected to the first support which is configured to move the first permanent magnet and/or vary influence of a magnetic field of the first permanent magnet relative to the second magnet.