샘플을 이미징하기 위한 방법

• Main Author: HANSSON BJORN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 11.03.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING; X-RAY TECHNIQUE

x-선 검출기(D)를 사용하여 샘플(S)을 이미징하기 위한 방법으로서, 타겟 상의 X-선 스폿(122)으로부터 방출되는 x-선 방사선(120)을 생성하도록 상기 타겟(T)과 상호작용하는 전자 빔(112)을 제공하는 단계(10), 상기 샘플을 상기 타겟에 대해 이동시키는 단계(20), 상기 x-선 스폿이 상기 타겟 위에서 동시에 그리고 상기 샘플의 이동에 따라서 이동되도록 상기 전자 빔을 편향시키는 단계(30), 및 상기 x-선 스폿으로부터 방출되고 상기 샘플과 상호작용하는 x-선 방사선을 검출하는 단계(450)를 포함하는, 샘플 이미징 방법이 개시된다. A method for imaging a sample (S) by means of an X-ray detector (D) is disclosed, comprising providing (10) an electron beam (112) interacting with a target (T) to generate X-ray radiation (120) emitted from an X-ray spot (122) on the target, moving (20) the sample relative to the target, deflecting (30) the electron beam such that the X-ray spot is moved over the target simultaneously and in accordance with the movement of the sample, and detecting 450) X-ray radiation emitted from the X-ray spot and interacting with the sample.