로봇제어장치, 및 그것을 구비하는 로봇 및 로봇시스템

• Main Authors: KITANO SHINYA, KIKUCHI KEITA, SUGAHARA JUNICHI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 08.03.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HAND TOOLS; MANIPULATORS; PERFORMING OPERATIONS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

기판을 유지하여 반송하는 로봇의 동작을 제어하기 위한 로봇제어장치로서, 로봇은, 적어도 하나의 관절축을 가지는 로봇암과, 로봇암의 선단에 설치되고, 기판을 유지하기 위한 엔드 이펙터를 구비하고, 기판을 재치하기 위한 재치위치에 인접하여 배치되고, 엔드 이펙터의 위치 및 자세는, N개(N은 자연수)의 변수의 값에 의해 규정되고, 재치위치에 재치된 기판을 엔드 이펙터로 유지하기 위한 엔드 이펙터의 유지위치 및 유지자세를 규정하는 N개의 변수 중 적어도 1개의 변수의 값은, 유지위치 및 유지자세의 엔드 이펙터를 재치위치로부터 물러나게 한 후의 엔드 이펙터의 당김 위치 및 당김 자세를 규정하는 N개의 변수 중 대응하는 변수의 값과 독립하는 것을 특징으로 한다. A robot control device configured to control operation of a robot configured to transfer a substrate while holding the substrate. The robot includes a robotic arm having at least one joint axis, and an end effector provided to a tip end of the robotic arm and configured to hold the substrate. A position and a posture of the end effector are defined by values of N variables. A value of at least one of the N variables that define a holding position and a holding posture of the end effector for holding the substrate placed on the installation position by the end effector is independent from a value of the corresponding variable among the N variables that define a withdrawn position and a withdrawn posture of the end effector after retreating the end effector in the holding position and the holding posture from the installation position.