배치 장치 및 배치 방법

배치 장치는 기판을 지지하는 스테이지와, 다이를 유지하고, 스테이지에 지지된 기판 상에 복수의 다이를 배치하는 배치부와, 노광 장치에 의해 형성된 복수의 패턴끼리의 위치 관계에 기초하여 생성된 복수의 다이의 배치 위치를 나타내는 맵 데이터를 가지고, 맵 데이터에 기초하여, 기판 상에 복수의 다이를 배치할 때의 스테이지와 배치부와의 서로의 상대적인 위치를 제어하는 제어부를 갖춘다. An arrangement apparatus includes a stage, an arrangement part, and a control part. Th...

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Main Author SEYAMA KOHEI
Format Patent
LanguageKorean
Published 02.03.2022
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:배치 장치는 기판을 지지하는 스테이지와, 다이를 유지하고, 스테이지에 지지된 기판 상에 복수의 다이를 배치하는 배치부와, 노광 장치에 의해 형성된 복수의 패턴끼리의 위치 관계에 기초하여 생성된 복수의 다이의 배치 위치를 나타내는 맵 데이터를 가지고, 맵 데이터에 기초하여, 기판 상에 복수의 다이를 배치할 때의 스테이지와 배치부와의 서로의 상대적인 위치를 제어하는 제어부를 갖춘다. An arrangement apparatus includes a stage, an arrangement part, and a control part. The stage supports a substrate. The arrangement part holds a die and arranges multiple dies on the substrate supported by the stage. The control part has a map data indicating arrangement positions of the dies and generated based on a positional relationship among patterns formed by an exposure apparatus, and controls, based on the map data, relative positions between the stage and the arrangement part when arranging the dies on the substrate.
Bibliography:Application Number: KR20217020042