멀티레이어 구조를 갖는 정전 액추에이터

탄성층이 크리프 현상에 의해 변형되어도 도체층간의 절연 성능이 유지된 적층형 정전 액추에이터를 제공한다. 복수의 전극 필름이 적층 결합된 구조를 갖는 정전 액추에이터이며, 각 전극 필름은, 탄성층, 절연층, 도체층, 절연층, 탄성층의 5층 구조를 갖고, 탄성층을 구성하는 재료의 영률은, 절연층을 구성하는 재료의 영률보다도 작거나, 혹은, 탄성층을 구성하는 재료의 스프링 상수는, 전극 필름이 적층 방향으로 신장하는 것에 수반하여 증가한다. Provided is a stacked electrostatic actuator capable...

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Bibliographic Details
Main Authors SANEYOSHI KEIJI, ITO MAKOTO, IZUMITANI HIKARU
Format Patent
LanguageKorean
Published 08.02.2022
Subjects
CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
GENERATION
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES
MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
PERFORMING OPERATIONS
TRANSPORTING
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Summary:탄성층이 크리프 현상에 의해 변형되어도 도체층간의 절연 성능이 유지된 적층형 정전 액추에이터를 제공한다. 복수의 전극 필름이 적층 결합된 구조를 갖는 정전 액추에이터이며, 각 전극 필름은, 탄성층, 절연층, 도체층, 절연층, 탄성층의 5층 구조를 갖고, 탄성층을 구성하는 재료의 영률은, 절연층을 구성하는 재료의 영률보다도 작거나, 혹은, 탄성층을 구성하는 재료의 스프링 상수는, 전극 필름이 적층 방향으로 신장하는 것에 수반하여 증가한다. Provided is a stacked electrostatic actuator capable of maintaining insulation performance between conductor layers even when an elastic layer is deformed due to a creep phenomenon. An electrostatic actuator includes a plurality of electrode films that are stacked and bonded, wherein each of the electrode films has a five-layer structure including an elastic layer, an insulating layer, a conductor layer, an insulating layer, and an elastic layer, a Young's modulus of a material for forming the elastic layers is smaller than a Young's modulus of a material for forming the insulating layers, and a spring constant of a material for forming the elastic layers increases as the electrode films extend in a stacking direction.
Bibliography:Application Number: KR20217041145