진공 펌프 및 당해 진공 펌프에 구비된 보호부

• Main Authors: KABASAWA TAKASHI, ENOMOTO YOSHIHIRO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 04.02.2022
• Subjects: BLASTING; HEATING; LIGHTING; MECHANICAL ENGINEERING; NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS; POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS; WEAPONS

회전 부품과 고정 부품이 접촉했을 때에도 불꽃이 발생하지 않게 되어, 진공 용기 내에서의 폭발적 반응을 방지할 수 있는 진공 펌프 및 당해 진공 펌프에 구비된 보호부를 제공한다. 가스 유로의 좁은 간극을 사이에 둔 나사 스페이서(131)의 나사산(131a~131e)의 머리부 측에, 비금속제의 보호부(1a~1e)를 둘레형상으로 형성한다. 마찬가지로 가스 유로의 간극이 좁은 회전 날개(102x)의 선단에 대향하는 고정 날개 스페이서(125x)의 내주면 측에도 보호부(1x)를 둘레형상으로 형성한다. 보호부는, 회전 날개(102)와 정지부(靜止部)가 접촉했을 때에도, 모재의 금속재료끼리가 접촉하지 않기 위해서 필요 충분한 두께의 비금속으로 형성한다. 회전 날개(102)와 정지부 사이가 접촉했을 때에, 보호부가 먼저 접촉하여 깎여나감으로써 모재의 금속끼리가 노출하여 접촉하는 것을 피할 수 있다. 보호부는 일정한 경도도 가지고 있으므로, 물체를 튕기는 작용도 더불어, 한층 효과적으로 모재의 금속끼리가 노출하여 접촉하는 것을 피할 수 있다. A vacuum pump in which a spark is not generated even when a rotor component and a stator component are brought into contact, and an explosive reaction in a vacuum container can be prevented, and a protection portion provided in the vacuum pump are provided. On head part sides of a thread ridge to a thread ridge of a threaded spacer with a narrow clearance of a gas channel therebetween, a protection portion 1a to a protection portion made of non-metal are formed in a peripheral state. A protection portion is similarly formed in the peripheral state also on an inner peripheral surface side of a stator blade spacer opposed to a distal end of a rotor blade with a narrow clearance of the gas channel. The protection portion is formed of non-metal with a sufficient thickness so that metal materials of base materials are not brought into contact with each other even when a rotor blade and a stationary portion are brought into contact with each other.