MICROWAVE OUTPUT DEVICE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: MURAI KOICHI, ISHIDA YOHEI, TAMURA HAJIME, KANEKO KAZUSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 03.02.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention precisely controls the pulse-modulated power of a microwave having a bandwidth by multi-carrier. A device comprises a microwave generation unit that generates a microwave having a bandwidth, an output unit, a directional coupler, and a measurement unit. The microwave generation unit generates a microwave whose power is pulse-modulated to be at a high level and a low level. A set carrier pitch is set to satisfy predetermined conditions. The predetermined conditions include a condition that a value obtained by dividing a set pulse frequency by the set carrier pitch or a value obtained by dividing the set carrier pitch by the set pulse frequency is not an integer and a condition that an ON time of the high level to a set cycle in a set duty ratio is 50% or more. The microwave generation unit averages a first high measurement value and a first low measurement value in a predetermined moving average time and a predetermined sampling interval. The predetermined moving average time is longer than an integrated value of the ON time of the high level. 멀티 캐리어에 의한 대역폭을 가지는 마이크로파의 펄스 변조된 파워를 정밀도 좋게 제어한다. 장치는, 대역폭을 가지는 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생부, 출력부, 방향성 결합기 및 측정부를 구비한다. 마이크로파 발생부는, High 레벨 및 Low 레벨이 되도록 파워가 펄스 변조된 마이크로파를 발생시킨다. 설정 캐리어 피치는, 정해진 조건을 충족하도록 설정된다. 정해진 조건은, 설정 펄스 주파수를 설정 캐리어 피치로 나눈 값 또는 설정 캐리어 피치를 설정 펄스 주파수로 나눈 값이 정수가 되지 않을 것, 및, 설정 듀티비에 있어서 설정 주기에 대한 High 레벨의 ON 시간이 50% 이상이 될 것을 포함한다. 마이크로파 발생부는, 제 1 High 측정값 및 제 1 Low 측정값을 정해진 이동 평균 시간 및 정해진 샘플링 간격으로 평균화하고, 정해진 이동 평균 시간은 High 레벨의 ON 시간의 적산값보다 길다.