헤테로다인 스캐닝 프로브 현미경 방법 및 스캐닝 프로브 현미경 시스템

• Main Authors: VAN NEER PAUL LOUIS MARIA JOSEPH, VAN ES MAARTEN HUBERTUS, RAJADURAI SRI RAM SHANKAR, SADEGHIAN MARNANI HAMED, PIRAS DANIELE, HATAKEYAMA KODAI, VAN DER LANS MARCUS JOHANNES
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 24.01.2022
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

본 발명은 표면 하부 이미징을 위한 헤테로다인 SPM(Scanning Probe Microscopy) 방법에 관한 것으로, 샘플에 음향 입력 신호를 적용하는 단계 및 프로브를 사용하여 음향 출력 신호를 감지하는 단계를 포함한다. 음향 입력 신호는 반송 주파수 및 적어도 2개의 여기 주파수를 포함하는 고유 주파수에서 복수의 신호 성분을 포함한다. 반송 주파수와 여기 주파수는 주파수 그룹을 형성하며, 그룹의 각기 2개의 후속 주파수 사이에 동일한 차이 주파수로 분배된다. 차이 주파수는 음향 출력 신호의 감지를 가능하게 하는 캔틸레버의 감도 임계 주파수 미만이다. 본 명세서에서는 SPM 시스템도 설명한다. The present document relates to a heterodyne scanning probe microscopy (SPM) method for subsurface imaging, and includes: applying an acoustic input signal to a sample and sensing an acoustic output signal using a probe. The acoustic input signal comprises a plurality of signal components at unique frequencies, including a carrier frequency and at least two excitation frequencies. The carrier frequency and the excitation frequencies form a group of frequencies, which are distributed with an equal difference frequency between each two subsequent frequencies of the group. The difference frequency is below a sensitivity threshold frequency of the cantilever for enabling sensing of the acoustic output signal. The document also describes an SPM system.