METHOD AND STRUCTURE FOR SENSORS ON GLASS

• Main Authors: AHRENS CARSTEN, PINDL STEPHAN, KRUMBEIN ULRICH, JOST STEFAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 18.01.2022
• Subjects: MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; TRANSPORTING

A method for providing a semiconductor layer array on a substrate comprises the following steps of: providing the semiconductor layer array having a function layer and a semiconductor substrate layer; attaching the semiconductor layer array on a glass substrate layer for the function layer to be arranged between the glass substrate layer and the semiconductor substrate layer; and removing at least a part of the semiconductor substrate layer so that the glass substrate layer replaces the semiconductor substrate layer as a substrate of the semiconductor layer array. 기판 상에 반도체 층 배열을 제공하기 위한 방법은, 기능 층 및 반도체 기판 층을 갖는 반도체 층 배열을 제공하는 단계, 기능 층이 유리 기판 층과 반도체 기판 층 사이에 배열되도록 반도체 층 배열을 유리 기판 층에 부착하는 단계, 및 유리 기판 층이 반도체 층 배열의 기판으로서 반도체 기판 층을 대체하도록 적어도 부분적으로 반도체 기판 층을 제거하는 단계를 포함한다.