활성 표면을 갖는 센서

• Main Authors: EMADI ARVIN, AGAH ALI, RIVAL ARNAUD
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 30.12.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

일례에서, 기판; 상기 기판 위에 있고 활성 표면 및 센서 접합 패드를 포함하는 센서; 상기 기판 위에 있고 상기 센서의 측면을 덮는 몰딩층으로서, 상기 기판의 상부 표면에 대한 상기 센서의 활성 표면의 높이보다 더 큰 상기 기판의 상부 표면에 대한 몰딩 높이를 갖는 상기 몰딩층; 및 상기 몰딩층 위에 그리고 상기 활성 표면 위에 덮개층을 포함하는 장치가 개시된다. 상기 덮개층과 상기 몰딩층은 상기 센서의 활성 표면 위에 유동 채널을 형성하는 공간을 형성한다. Disclosed in one example is an apparatus including a substrate, a sensor over the substrate including an active surface and a sensor bond pad, a molding layer over the substrate and covering sides of the sensor, the molding layer having a molding height relative to a top surface of the substrate that is greater than a height of the active surface of the sensor relative to the top surface of the substrate, and a lidding layer over the molding layer and over the active surface. The lidding layer and the molding layer form a space over the active surface of the sensor that defines a flow channel.