STORAGE MODULE SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND METHOD OF TRANSFERRING A CONSUMABLE MEMBER

• Main Authors: AMIKURA NORIHIKO, KITA MASATOMO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 28.12.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided are a storage module capable of reducing a footprint, a substrate processing system, and a method of transferring a consumable member. The storage module comprises a mounting table, a sensor, a rotating part, a storage part, and a lifting part. The mounting table mounts the consumable member. The sensor detects a direction of the consumable member. The rotating part rotates the consumable member in a predetermined direction based on the direction of the consumable member detected by the sensor. The storage part is located at a lower part of the mounting table, and accommodates the consumable member. The lifting part raises and lowers the storage part. [과제] 풋프린트를 저감할 수 있는 수납 모듈, 기판 처리 시스템 및 소모 부재의 반송 방법을 제공한다. [해결 수단] 수납 모듈은 탑재대와, 센서와, 회전부와, 수납부와, 승강부를 갖는다. 탑재대는 소모 부재를 탑재한다. 센서는 소모 부재의 방향을 검출한다. 회전부는 센서에 의해서 검출된 소모 부재의 방향에 근거하여, 소모 부재를 소정의 방향으로 회전시킨다. 수납부는 탑재대의 하부에 위치하고, 소모 부재를 수납한다. 승강부는 수납부를 승강시킨다.