오염 트랩

방사선 소스의 잔해물 경감 시스템에서의 사용을 위한 오염 트랩이 제공되며, 오염 트랩은 방사선 소스의 플라즈마 형성 영역으로부터 방출된 연료 잔해물을 포획하도록 구성된 복수의 베인을 포함하며, 복수의 베인 중 적어도 하나의 베인 또는 각 베인은 30Wm-1K-1보다 큰 열전도도를 포함하는 재료를 포함한다. A contamination trap for use in a debris mitigation system of a radiation source, the contamination trap comprising a plurality...

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Main Authors WESTERLAKEN JAN STEVEN CHRISTIAAN, FEIJTS MAURICE WILHELMUS LEONARDUS HENDRICUS, DIRECKS DANIEL JOZEF MARIA, MOORS KATJA CORNELIA JOANNA CLASINA, HOEIJMAKERS PIETER GERARDUS MATHIJS, DERKS SANDER CATHARINA REINIER, NAVARRO PAREDES VIOLETA, VAN DRENT WILLIAM PETER
Format Patent
LanguageKorean
Published 15.12.2021
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
X-RAY TECHNIQUE
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Summary:방사선 소스의 잔해물 경감 시스템에서의 사용을 위한 오염 트랩이 제공되며, 오염 트랩은 방사선 소스의 플라즈마 형성 영역으로부터 방출된 연료 잔해물을 포획하도록 구성된 복수의 베인을 포함하며, 복수의 베인 중 적어도 하나의 베인 또는 각 베인은 30Wm-1K-1보다 큰 열전도도를 포함하는 재료를 포함한다. A contamination trap for use in a debris mitigation system of a radiation source, the contamination trap comprising a plurality of vanes configured to trap fuel debris emitted from a plasma formation region of the radiation source; wherein at least one vane or each vane of the plurality of vanes comprises a material comprising a thermal conductivity above 30 W m−1 K−1.
Bibliography:Application Number: KR20217032950