높은 흐름과 높은 균일성을 가진 사용 시점 동적 집중 전달 시스템

• Main Authors: HULI LIOR, GROOTEGOED JAMES, ROBISON RODNEY, JACOBSON NORMAN, NASMAN RONALD, DEVILLIERS ANTON
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 10.12.2021
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING, DISPERSING; ORIGINALS THEREFOR; PERFORMING OPERATIONS; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

액체 화학물질을 주어진 분배 동안 동적으로 변화시키는 비 또는 정적인 비로 혼합하기 위한, 매우 높은 균일성과 반복성을 갖는 방법 및 시스템이 기재된다. 혼합기는 선형 유체 흐름 경로를 규정하고 횡방향으로 팽창하여 공정 유체를 수집하며 횡방향으로 수축하여 선택된 용적의 공정 유체를 혼합기로 전달하도록 구성되는 세장형 블래더를 포함하는 다수의 유체 공급 라인을 포함한다. A method and a system are described for mixing liquid chemicals at dynamically changing or static ratios during a given dispense, with extremely high uniformity and repeatability. A mixer includes multiple fluid supply lines including elongate bladders defining a linear flow path and being configured to laterally expand to collect a process fluid and laterally contract to deliver a selected volume of the process fluid to the mixer.